深圳MEMS產業發展白皮書
微機電系統（Micro Electro-Mechanical System，簡稱MEMS），是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的電子機械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產、…
2021-03-19 09:10:11 |
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微機電系統（Micro Electro-Mechanical System，簡稱MEMS），是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的電子機械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產、…
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